Rapid Thermal ProcessingRTP is one

Rapid Thermal Processing
RTP is one ofthe exciting new wafer fabrication technologies. Its
origin can be traced to the laser annealing (отжиг) research ofthe early
1 980's, but it is only with the very recent appearance of techniques
and equipment suitable for use in production that the technique has
begun to attract serious attention of process engineers.
Current applications for RTP include ion implant annealing, glass
reflow, silicide formation) and deposition ofthin gate oxides. The RTP
equipment market is expected to have one of the highest growth factors
in the equipment industry.

Результаты (русский) 1:

Быстрая тепловая обработкаRTP является одним из захватывающих новых технологий изготовления пластин. Егопроисхождение можно проследить лазерный отжиг (отжиг) исследования раннего1 980's, но это только с очень недавнее появление техникии оборудование, подходящее для использования в производстве, что техника имеетначали привлекать серьезное внимание инженеров-технологов.Текущие заявки на RTP включают Ион имплантатов отжиг, стеклооплавления, Силицид образование) и осаждения ofthin ворот оксидов. RTPОжидается, что рынок оборудования имеют один из высоких факторов ростав отрасли оборудования.

Результаты (русский) 2:

Быстрая термическая обработка
RTP является одним OFTHE захватывающих новых технологий изготовления пластин. Его
происхождение можно проследить до исследований в области лазерного отжига (отжиг) OFTHE начале
1 980 -х годов, но это только с очень недавним появлением техники
и оборудования , пригодного для использования в производстве , что методика
начал привлекать к себе серьезное внимание инженеров - технологов.
Современные приложения для протокола RTP включают ионную имплантата отжиг, стекла
оплавления, силицидообразования) и осаждение ofthin оксидов затвора. RTP
рынок оборудования , как ожидается, одним из самых высоких факторов роста
в отрасли оборудования.

Результаты (русский) 3:

быстрый термической обработкиодин из интересных пластин RTP является изготовление технологий.егопроисхождения могут быть связаны с лазерной отжиг (отжиг) исследования самого раннего1 980, но лишь с появлением технологии оченьи оборудование, пригодное для использования в производстве, что метод имеетначали привлекать серьезное внимание технологов.в настоящее время техники для RTP включают ион имплантат отжиг стекласилицид reflow, формирование) и ofthin ворота осаждения азота.в RTPоборудование рынка, как ожидается, будут одним из главных факторов ростав оборудовании, промышленности.