The most basic drawback to a Langmu

The most basic drawback to a Langmuir probe for diagnosing a processing plasma is that the probe comprises an object inserted into the plasma, thereby perturbing the plasma whose unperturbed properties are of interest. Probes normally are designed to minimize these perturbations and the effects have been quantified and documented in some cases [1~3l. The tube or holder that supports the probe tip provides a loss surface for electrons and ions, thereby depressing the nearby charge density. Making the diameter of the holder small, typically a few millimeters minimizes this effect. If materials in the probe holder sputter or react chemically with the plasma, strong perturbations can be expected and possibly unacceptable contamination of the reactor chamber may result. Material selection and probe diameter are restricted by the requirement for sufficient mechanical rigidity and by the need for survival at elevated temperatures in a possibly aggressive chemical environment. The probe holder often is made electrically insulating (glass or ceramic) to reduce the perturbation of electrical fields in the plasma, and the tip wire may be made of metals such as platinum, tungsten, or nickel-chrome alloy. If the probe tip conducts too much current, that current can affect the plasma by causing additional ionization or by changing potentials. Naturally, this effect is reduced as the tip size is decreased. However, if the tip is too small, then the geometry of the tip becomes more difficult to treat by probe theory and the effect of the holder becomes relatively more significant. When the probe tip is biased negatively with respect to the plasma, it is subjected to ion bombardment. This is a normal regime for operation, and the ion bombardment can be beneficial by keeping the probe surface clean in plasmas that deposit films on surfaces. However, excessive ion bombardment can lead to overheating of the probe or to erosion by sputtering of the probe tip.

Результаты (русский) 1:

Самый основной недостаток зонда Ленгмюра для диагностики плазмы обработки является то, что зонд включает в себя объект, вставленный в плазму, тем самым возмущая плазму, невозмущенное свойства представляют интерес. Зонды обычно предназначены для минимизации этих возмущений и эффекты были количественно и документированы в некоторых случаях [1 ~ 3л. Трубка или держатель, который поддерживает наконечник зонда обеспечивает поверхность потерь для электронов и ионов, тем самым удручает близлежащую плотность заряда. Заставить диаметр держателя малого, как правило, несколько миллиметров минимизирует этот эффект. Если материалы в держателе зонда напылением или вступать в химическую реакцию с плазмой, сильные возмущения можно ожидать, и, возможно, неприемлемо загрязнение камеры реактора может привести. Выбор материала и диаметр зонда ограничены требованием для достаточной механической жесткости и необходимости выживания при повышенных температурах, возможно, в агрессивной химической среде. Держатель зонда часто состоит из электрически изолирующего (из стекла или керамики), чтобы уменьшить возмущение электрических полей в плазме, а кончик проволоки может быть изготовлена ​​из металлов, таких как платина, вольфрам, или никель-хромового сплава. Если наконечник зонда проводит ток слишком большой ток, что ток может повлиять на плазме, вызывая дополнительную ионизацию или изменение потенциалов. Естественно, что этот эффект уменьшается, как размер наконечника уменьшается. Однако, если наконечник слишком мал, то геометрия наконечника становится все более трудно поддается лечению с помощью теории зондов и эффект держателя становится относительно более значительным. Когда кончик зонда смещен отрицательно по отношению к плазме, ее подвергают ионной бомбардировки. Это нормальный режим для работы, а ионная бомбардировка может быть полезной, сохраняя поверхность зонда в чистоте в плазме, которые откладываются на поверхности пленки. Однако чрезмерное ионная бомбардировка может привести к перегреву зонда или эрозии путем распыления наконечника зонда.

Результаты (русский) 2:

Самый основной недостаток зонда Langmuir для диагностики обрабатывающей плазмы заключается в том, что зонд состоит из объекта, вставленного в плазму, тем самым возмущая плазму, чьи невозмутимые свойства представляют интерес. Зонды обычно предназначены для минимизации этих возмущений и эффекты были количественно и документально в некоторых случаях . Трубка или держатель, поддерживающий наконечник зонда, обеспечивает потерю поверхности электронов и ионов, тем самым угнетая близлежащую плотность заряда. Делая диаметр держателя небольшим, как правило, несколько миллиметров сводит к минимуму этот эффект. Если материалы в распылении держателя зонда или реагируют химически с плазмой, то сильные perturbations можно предпологать и по возможности неприемлемое загрязнение камеры реактора могут привести к. Отбор материалов и диаметр зонда ограничиваются требованием достаточной механической жесткости и необходимостью выживания при повышенных температурах в возможно агрессивной химической среде. Держатель зонда часто сделан электрически изоляционным (стеклянным или керамическим) для уменьшения возмущения электрических полей в плазме, и провод кончика может быть сделан из металлов, таких как платина, вольфрам, или никель-хромовый сплав. Если наконечник зонда проводит слишком много тока, ток может повлиять на плазму, вызывая дополнительную ионизацию или изменяя потенциалы. Естественно, этот эффект уменьшается по мере уменьшения размера наконечника. Однако, если наконечник слишком мал, то геометрия наконечника становится все труднее поддается лечению с помощью теории зонда и эффект держателя становится относительно более значительным. Когда наконечник зонда предвзято отрицательно по отношению к плазме, он подвергается ионной бомбардировке. Это нормальный режим работы, и ионная бомбардировка может быть полезной, сохраняя поверхность зонда чистой в плазме, которая откладывает пленки на поверхностях. Однако чрезмерная ионная бомбардировка может привести к перегреву зонда или эрозии путем распыления наконечника зонда.

Результаты (русский) 3:

Основным недостатком зонда Лангмюра, используемого для диагностики плазменной обработки, является то, что он включает в себя объекты, вставленные в плазму, и, таким образом, возмущает плазму, которая представляет интерес с точки зрения ее незащищенности от помех.зонд обычно предназначен для сведения к минимуму этих возмущений, и в некоторых случаях они были количественно оценены и задокументированы [1 - 3l].уменьшить диаметр зажима, как правило, несколько миллиметров, и таким образом эффект будет сведен к минимуму.Если материал в фиксаторе зонда распыляется или вступает в химическую реакцию с плазмой, это может привести к сильному возмущению и неприемлемому загрязнению камеры реактора.выбор материала и диаметр зонда ограничен механическими требованиями жесткости, а также необходимостью выживания при высоких температурах в химической среде, которая может быть агрессивной.зондовые фиксаторы обычно электрически изолируются (стеклянные или керамические) для уменьшения возмущения электрического поля в плазме и могут быть металлическими, такими, как платина, вольфрам или нихромовые сплавы.если электрический ток, проходящий по острию зонда, слишком велик, то этот ток может влиять на плазму, вызывая дополнительную ионизацию или изменяя потенциал.Конечно, с уменьшением размера остряка этот эффект уменьшается.Однако, если острие иглы является слишком маленьким, то геометрия острия иглы становится сложнее обрабатывать теорией зонда, в то время как державка становится относительно заметной.при отрицательном смещении острия зонда по отношению к плазме он подвергается ионной бомбардировке.Это нормальная операционная модель, в которой ионная бомбардировка может быть использована для поддержания чистоты поверхности зонда в плазме на поверхности осажденной пленки.Однако чрезмерный ионный обстрел может привести к перегреву зонда или распылению его кончиков, что приведет к коррозии.