they came up with ways to etch many

they came up with ways to etch many transistors—eventually millions—onto tiny silicon wafers that became known as microchips.

Результаты (русский) 1:

они пришли с пути для etch много транзисторов — в конце концов миллионы — на крошечные кремниевых пластин, которые стали известны как микросхемы.

Результаты (русский) 2:

они придумали способы травления, много транзисторов-в конечном счете миллионы-на крошечных кремниевых пластин, что стало известно как микрочипов.

Результаты (русский) 3:

Они пришли с пути для травления многие транзисторов в конечном итоге миллионы-на крошечных кремниевых подложках, стал известен как микросхемы.