The plasma-etching process has been

The plasma-etching process has been shown to have important advantages in terms of cost.

Результаты (русский) 1:

Было показано, что процесс плазменного травления имеют важные преимущества с точки зрения затрат.

Результаты (русский) 2:

Процесс плазменного травления было показано, имеют важные преимущества с точки зрения стоимости.

Результаты (русский) 3:

плазма разъедание были выявлены важные преимущества в плане издержек.